Mikrosistēmu analizators MSA-100-3D ir paredzēts 3D vibrāciju analīzei ar augstu sānu izšķirtspēju. Tas ir īpaši piemērots mikrosistēmām, precīzās mehānikas detaļām, kā arī HGA un sekundāro izpildmehānismu dinamikas pētījumiem datu glabāšanas nozarē. Integrētais XY-traversālais statīvs ar pilnu programmatūras atbalstu augstas precizitātes parauga kustībai ļauj veikt skenētus mērījumus, lai iegūtu 3D novirzes formas.
– Vibrāciju mērījumi reālajā laikā ar lielu frekvenču joslas platumu līdz 25 MHz.
– Amplitūdas izšķirtspēja zem pikometra gan kustībām ārpus plaknes, gan plaknē.
– Gan viena punkta, gan pilna lauka mērījumi
– Mazs lāzera starpsvītras laukums, kas mazāks par 4 μm, nodrošina maksimālu sānu izšķirtspēju.
– Liels attālums līdz 38 mm
– Savietojamība ar parastajām MEMS zondēšanas stacijām
